Áp suất tuyệt đối (absolute pressure): là áp suất so với điểm không tuyệt đối của chân không, đó là áp suất khí quyển tại chỗ cộng áp suất đo được chất khí chống lại dòng khí có tác động đến.

Bình chứa hình chuông (bell jar): là bình chứa, một đầu được mở (thường là ở phía đáy), được sử dụng làm một buồng chân không hay một buồng để thử.

Bộ chỉ thị rò rỉ bằng âm thanh (audible leak indicator): là một phụ kiện dùng để dò tìm sự rò rỉ, có tác dụng chuyển đối tín hiệu ra thành tín hiệu âm thanh có tần số thay đổi theo tốc độ rò rỉ.

Bộ chỉ thị rò rỉ dùng ống phóng điện (discharge tube leak indicator): là một ống thủy tinh gắn vào hệ đang được thử rò rỉ. Trong ống thủy tinh này có các điện cực nối với một nguồn cao tần, cao áp, cụ thể là cuộn Tesla hoặc cuộn cảm, cho ta thấy sự thay đổi về màu sắc của sự phóng điện, khi chất khí đánh dấu thích hợp (mê tan, CO₂, cồn, …) đi xuyên qua lỗ rò.

Bộ rò rỉ tiêu chuẩn (standard leak): là một dụng cụ cho phép đưa chất khí đánh dấu vào một detector rò rỉ hoặc một hệ kiểm tra rò rỉ theo tốc độ đã biết, để thuận tiện cho việc chuẩn định detector rò rỉ.

Bơm chân không ban đầu (fore pump): (trong thử rò rỉ), là một loại bơm tạo ra được sự chân không sơ bộ cần thiết cho một bơm chân không có khả năng thoát khí tại áp suất khí quyển. Đôi khi cũng được gọi là bơm sơ bộ.

Bơm duy trì (holding pump): là loại bơm chân không ban đầu để duy trì điều kiện làm việc của bơm hơi khi bơm sơ bộ làm giảm áp suất hệ tới một điểm ta có thể mở van thông giữa bơm hơi và hệ thống mà không cần ngưng dòng hơi từ vòi phun.

Bơm ion (ion pump): là một thiết bị điện để hút chất khí bao gồm phương tiện để ion hóa chất khí, một hệ thống các điện cực chịu các thế hiệu thích hợp, và trong một số trường hợp là một từ trường làm di chuyển các ion được hình thành về phía bề mặt mà ở đó chúng bị hấp thụ hoặc bị giữ lại.

Bơm sơ bộ (roughing pump): một bơm chân không dùng để hút chân không ban đầu của một hệ chân không.

...

...

...

Chất khí dò (probe gas): (trong thử rò rỉ) là một chất khí đánh dấu thoát ra từ một lỗ nhỏ sao cho nó đập lên trên một diện tích cần thử hẹp.

Chất khí không ngưng tụ (noncondensable gas): là chất khí mà nhiệt độ của nó nằm trên nhiệt độ tới hạn, sao cho nó không thể bị ngưng tụ (hóa lỏng) chỉ bằng cách tăng áp suất.

Chân không (vacuum): trong công nghệ chân không, đó là một khoảng không gian chứa khí ở áp suất nhỏ hơn áp suất khí quyển (xem bảng 2)

Chân không cao (high vacuum): (xem bảng 2)

Chân không thấp (low vacuum): (xem bảng 2)

Bảng 2 - Độ chân không

Độ chân không

Giải áp suất gần đúng

Thấp

...

...

...

Cao

Rất cao

Siêu cao

100 kPa đến 3 kPa

3 kPa đến 0,1 Pa

0,1 Pa đến 0,1 mPa

0,1 mPa đến 0,1 μPa

0,1 μPa và thấp hơn

Clusec (clusec): là đơn vị không dùng nữa của lưu tốc, nó bằng 10^-2 lusec.

...

...

...

Detector rò rỉ (leak detector): là một thiết bị (dụng cụ) để dò tìm, xác định vị trí hoặc đo đạc sự rò rỉ hoặc kết hợp các điều đã nói trên.

Detector rò rỉ có cuộn phóng điện (spark coil lear detector): là một cuộn dây phóng điện tần số cao, loại Tesla, cho phép chỉ thị qua lỗ cắm trong hệ chân không bằng thủy tinh, bởi tia lửa phóng ra giữa lõi cuộn dây và lỗ cắm.

Detector rò rỉ có lớp chắn bằng palladium (palladium barrier leak detector): là một loại detector rò rỉ dùng khí hydro làm khí đánh dấu và dùng nguyên lý khuyếch tán hydro qua một rào chắn bằng palladium nóng vào trong một dụng cụ đo độ chân không đã được hút chân không.

Detector rò rỉ dạng khối phổ kế (mass spectrometer leak detector): một khối phổ kế được điều chỉnh chỉ để nhạy cảm với chất khí đánh dấu.

Detector rò rỉ halogen (halogen leak detector): là một loại detector rò rỉ thích ứng với các khí đánh dấu loại halogen. Người ta cũng gọi chúng là detector rò rỉ nhạy cảm với halogen, hoặc detector rò rỉ halide:

1) detector ngọn lửa màu đồng hoặc loại đèn halogencia bao gồm 1 đèn bunsen có ngọn lửa tác động lên một tấm đồng hoặc một màn và một ống mềm có chứa một đầu dò lấy mẫu để chuyển chất khí đánh dấu tới cửa dẫn không khí của đèn;

2) là một loại detector halogen có diode ion - alkali phụ thuộc vào sự thay đổi sự phát xạ các ion dương từ 1 anode bằng platin bị nung nóng khi các phần tử halogen đi vào phần tử cảm biến.

Detector rò rỉ Helium (helium leak detector): là một loại detector sử dụng helium như một chất khí đánh dấu.

Detector rò rỉ siêu âm (ultrasonic leak detector): là một thiết bị để xác định năng lượng sóng siêu âm sinh ra bởi sự chảy rối phân tử, xảy ra khi có sự chuyển từ sự chảy tầng sang sự chảy rối của một chất khí qua một lỗ hẹp và điều đó biến năng lượng thành một tín hiệu có thể sử dụng được.

...

...

...

Dụng cụ đo chân không kiểu ion hóa (Áp kế ion hóa) (ionization vacuum page): Máy đo chân không, gồm phương tiện ion hóa các phần tử khí, các điện cực để dễ dàng thu thập các ion dương được tạo thành, phương tiện chỉ thị biên độ của dòng ion tạo thành. Các loại áp kế ion hóa khác nhau được phân biệt dựa theo phương pháp tạo ra sự ion hóa. Các loại chung được liệt kê ra như sau:

a) áp kế ion hóa catốt nóng. Các ion được tạo ra bởi sự va chạm với các electron (phát xạ) được phát ra từ một dây tóc nung nóng (hoặc 1 cathode) và được gia tốc bởi điện trường. Người ta cũng gọi đó là máy đo sự ion hóa dây tóc nóng hoặc đơn giản là dụng cụ đo ion. Áp kế ion hóa Bayard - Alpert dùng một ống có điện cực được thiết kế làm giảm tia X tạo ra do sự phát xạ electron từ cực góp ion;

b) áp kế ion hóa catốt lạnh (áp kế ion hóa - từ): các ion sinh ra do sự phóng điện cathode lạnh thường kèm theo từ trường làm tăng quãng đường của các electrons giữa cathode và anode. Ống phóng điện là một ống phóng trong suốt trong đó màu sắc và hình dạng của sự phóng điện cathode lạnh (không có từ trường) sẽ cho ta một chỉ thị về áp suất và bản chất của chất khí. Áp kế ion hóa catốt lạnh do hãng philips sản xuất là áp kế ion hóa catốt lạnh trong đó từ trường song song với trục của điện cực hình xuyến (thông thường là anode) đặt giữa hai bản điện cực vuông góc với trục. Các cải biến khác nhau của áp kế penning được đặt tên theo các nhà phát minh và vài loại được gọi như là máy đo chân không magnetron;

c) áp kế sự ion hóa do phóng xạ. Các ion sinh ra do bức xạ (thường là các hạt alpha) phát xạ ra từ một nguồn phóng xạ.

Dụng cụ đo độ chân không bằng phương pháp dẫn nhiệt (áp kế dùng dẫn nhiệt) (thermal conductivity vacuum gage): là một dụng cụ đo độ chân không gồm 2 bề mặt có nhiệt độ khác nhau. Nhiệt lượng được luân chuyển giữa chúng bởi các phần tử khí sao cho sự thay đổi về nhiệt độ (hoặc năng lượng nung nóng cần để duy trì nhiệt độ không thay đổi) của một trong hai bề mặt đó có thể được hiểu chỉnh bằng áp suất chất khí. Các loại dụng cụ đo độ dẫn nhiệt khác nhau được phân biệt theo phương pháp đo sự thay đổi nhiệt độ. Dưới đây liệt kê một vài loại chung:

1) áp kế Pirani: sự tăng áp suất từ điểm zero gây nên sự giảm nhiệt độ của dây tóc bị nung nóng làm bằng vật liệu có hệ số nhiệt độ lớn về điện trở, vì vậy làm mất cân bằng mạch cầu (hoặc mạch cầu được điều chỉnh để duy trì nhiệt độ của dây tóc không thay đổi);

2) áp kế nhiệt điện: sự giảm nhiệt độ của một dây tóc bị nung nóng khi áp suất tăng được chỉ thị bằng sự suy giảm của thế điện động trong một mạch cặp nhiệt điện có đầu nối tiếp súc nhiệt với điểm giữa của dây tóc đang bị nung nóng;

3) áp kế dùng nhiệt điện trở: là một dạng của dụng cụ đo pirani sử dụng một nhiệt điện trở như là phần tử nung nóng;

4) áp kế dùng băng kép: sự uốn cong của băng kép khi nhiệt độ thay đổi chỉ ra sự thay đổi về áp suất.

...

...

...

Đầu dò lấy mẫu (sampling probe): là một bộ phận để thu gom các chất khí đánh dấu từ một diện tích của vật thể được kiểm tra và đưa nó đi vào detector rò rỉ với một áp suất giảm mong muốn. Người ta cũng gọi là đầu dò hút.

Đầu dò phun (spray probe): (trong thử rò rỉ) là một dụng cụ để hướng một tia nhỏ chất khí đánh dấu, lên trên vật thử trong phép thử chân không.

Đệm kín (hermerically tight seal): là một mối đệm không để xảy ra sự rò rỉ khi thử động lực với các detector chế tạo theo kiểu thương mại có nhạy cảm với chất khí ở phía có áp suất đối diện với phía đặt detector rò rỉ, hoặc không xảy ra rò rỉ dưới bất cứ dạng thử chất lỏng nào.

Điốt ion alkali (alkali ion diode): là loại cảm biến cho các khí halogen.

Đo đạc rò rỉ động lực (dynamic leakage measurement): sự rò rỉ được xác định bằng cách đo áp suất riêng phần cân bằng của chất khí đánh dấu khi hệ thống được tác động bởi bơm.

Độ dẫn (conductance): (trong thử rò rỉ) ở trạng thái dừng và các điều kiện bảo toàn là tỷ số của lưu lượng chất khí, qua một ống dẫn hoặc một lỗ hổng trên hiệu áp suất riêng phần tại 2 đầu của ống dẫn, hoặc 2 cạnh của lỗ hổng, được biểu diễn bằng đơn vị thể tích trên đơn vị thời gian, ví dụ m³/s.

Độ nhạy (senstivity): trong trường hợp của detector rò rỉ, là đáp ứng của detector với sự rò rỉ của chất khí đánh dấu (nghĩa là thang chia trên một đơn vị tốc độ rò rỉ).

Độ nhạy của phép thử rò rỉ (senstivity of leak test): là tốc độ rò rỉ nhỏ nhất mà một thiết bị, phương pháp hoặc hệ có khả năng phát hiện được dưới những điều kiện được qui định.

Độ nhạy động lực của detector thử rò rỉ (dynamic senstivity of leak detector): là tốc độ rò rỉ tối thiểu mà detector có khả năng phát hiện được khi hộp kín dùng trong kiểm tra được hút khí liên tục dưới những điều kiện xác định nào đó.

...

...

...

Đường hút khí sơ bộ (roughing line): đường dẫn khí từ bơm cơ học đến buồng chân không, mà qua đó thực hiện chân không ban đầu ở mức chân không thấp.

Đường ống chân không ban đầu (fore line): (trong thử rò rỉ), là đường ống nối bơm ban đầu và bơm cần chân không ban đầu.

Halogen (halogen): là bất cứ nguyên tố nào thuộc họ các nguyên tố fluorine, clorine, bromine, và iodine. Các hợp chất không được xếp loại vào các định nghĩa chặt chẽ của halogen tuy nhiên, với mục đích của tiêu chuẩn này, từ halogen bao gồm cả các hợp chất chứa halogen. Ý nghĩa về sự phát hiện sự rò rỉ halogen là ở chỗ chúng có áp suất hơi đủ để được áp dụng như là các chất khí đánh dấu.

Hệ bị tràn ngập (flooded system): một hệ, đang được kiểm tra mà trở thành bị tràn đầy chất khí đánh dấu đến nỗi không thể thực hiện công việc thử rò rỉ được nữa.

Hệ số đáp ứng (response factor): (trong thử rò rỉ) đáp ứng của detector rò rỉ halogen với chất làm lạnh - 12 (CCl₂F₂) là 0,3 Mpa.m³/s hoặc nhỏ hơn, chia cho đáp ứng của cùng số lượng (đại lượng) chất khí thử loại halogen khác. Do vậy, tốc độ rò rỉ thực tế sẽ là chỉ số của detector nhân với hệ số đáp ứng. Đáp ứng của một hỗn hợp chất khí đánh dấu không là halogen sẽ là hệ số đáp ứng của chất đánh dấu chia cho chất của chất khí đánh dấu trong chất khí thử.

Hệ số thấm (permeability coefficient): là lưu tốc ở trạng thái dừng của dòng chất khí chảy qua một đơn vị diện tích nhân với bề dày của một thanh chắn bằng vật liệu rắn trên một đơn vị vi phân áp suất tại một nhiệt độ đã cho.

Hệ thử rò rỉ bằng chất đồng vị phóng xạ (radioisotope leak test system): là một hệ thử rò rỉ sử dụng chất khí đánh dấu là đồng vị phóng xạ và sử dụng một detector để đo đạc sự phát xạ từ chất đánh dấu.

Hiệu áp suất (pressure difference): (trong thử rò rỉ) là sự chênh lệch giữa áp suất giữa mặt vào và ra của vết dò.

Hút bám thấu (sorpsion): sự thấm hút của chất khí bởi sự hấp thụ, sự hấp phụ, sự hút bám hóa học hoặc bất cứ sự phối hợp nào giữa các quá trình trên.

...

...

...

Khí đánh dấu (tracer gas): là một loại khí, khi đi qua một vết rò rỉ, có thể được phát hiện nhờ 1 detector đặc biệt và do vậy phát hiện được sự có mặt của vết rò rỉ. Người ta cũng gọi đó là khí tiềm kiếm.

Khí lý tưởng (ideal gas): là chất khí tuân theo định luật Boyle và có nhiệt dãn nở tự do bằng 0 (cũng tuân theo định luật Charles).

Khoảng đệm (ballast): trong thử rò rỉ, một khoảng trống sau đủ rộng để duy trì một áp suất ban đầu thấp khi bơm chân không sơ bộ bị ngưng tạm thời.

Khoảng sau (backing space): là khoảng không gian giữa một máy bơm chân không ban đầu và một máy bơm khuyếch tán kết hợp (hoặc các loại bơm khác cần đến loại bơm chân không ban đầu). Cũng có thể xem "khoảng đệm".

Khối phổ kế (mass spectrum): là một thiết bị (dụng cụ) có khả năng phân ly các phân tử bị ion hóa theo sự khác nhau của tỉ số khối lượng và diện tích và đo dòng ion tương ứng. Khối phổ kế có thể được dùng như một dụng cụ đo chân không với lối ra tỷ lệ với áp suất riêng phần của chất khí, hoặc như một detector rò rỉ nhạy cảm với chất khí đánh dấu nào đó, hoặc như một dụng cụ phân tích để xác định phần trăm hợp chất của một hỗn hợp khí. Các loại phổ kế khác nhau được phân biệt tùy theo phương pháp phân ly ion. Các loại khối phổ kế chính là:

a) loại phổ kế khối Dempster: đầu tiên các ion được gia tốc bởi điện trường qua một khe hẹp và sau đó bị làm lệch 180⁰ bởi từ trường sao cho nó đi qua được khe hẹp thứ 2;

b) loại khối phổ kế Bainbrige Jordan: các ion bị tách nhờ một từ trường tĩnh điện hướng tâm, và một từ trường làm lệch các ion đi 60⁰. Chúng được sắp xếp sao cho sự tán sắc các ion trong điện trường được bù một cách chính xác bởi sự tán sắc trong từ trường đối với một hiệu vận tốc cho trước;

c) các loại khối phổ kế Blekney: các ion bị tách bởi điện trường và từ trường ngang (chéo). Người ta cũng gọi đó là khối phổ kế từ trường chéo;

d) loại khối phổ kế Nier: là một dạng bổ sung cho loại khối phổ kế Dempster trong đó từ trường sẽ làm lệch các ion;

...

...

...

f) loại khối phổ kế tần số vô tuyến: các ion được gia tốc vào trong một máy phân tích tần số vô tuyến, trong đó các ion có tỷ số khối lượng trên diện tích đã lọc lựa được gia tốc qua những cửa mở của một dẫy các bản cực lần lượt qua một bộ dao động với tần số vô tuyến. Các ion thoát vào trong trường tĩnh điện chỉ là các ion đã được gia tốc trong máy phân tích đi tới Cô lectơ;

g) loại khối phổ kế Omegation: các ion được gia tốc theo nguyên lý Cyclotron.

Khối số (mass number): là số nguyên gần với khối lượng nguyên tử được biểu thị hoặc bằng đơn vị khối lượng nguyên tử hoặc là trọng lượng nguyên tử.

Khử khí bằng nhiệt (bake - out): trong thử rò rỉ, là sự khử khí của hệ chân không bằng cách nung nóng trong quá trình bơm.

Kín (tight): không bị rò rỉ tương ứng với các điều kiện đã cho.

Kỹ thuật khoảng sau (backing space technique): là phương pháp thử rò rỉ, trong đó detector rò rỉ được nối với một khoảng đệm để có được ưu điểm về sự nén khí tồn tại giữa hệ thống chân không và bơm chân không ban đầu, do sự tác động của bơm khuyếch tán (hoặc loại bơm khác có tốc độ tương đối cao so với bơm chân không ban đầu).

Krypton 85 (krypton 85): là một loại chất khí đánh dấu dùng để thử rò rỉ, khi dùng phương pháp thử rò rỉ bằng phóng xạ.

Lỗ nạp vào (inlet): là một cửa mở, mặt ghép, chỗ nối, khớp nối trên một detector rò rỉ hoặc một hệ thử rò rỉ qua đó chất khí đánh dấu có thể xâm nhập vào vật đang được thử rò rỉ.

Lỗ (vết) rò rỉ (leak): là lỗ hổng hay một khoảng trống trong vách (thành) của một vật thể kín, có khả năng cho chất lỏng hay khí đi qua từ mặt này sang mặt kia của thành dưới tác động của áp suất hay sự chênh lệch về nồng độ giữa 2 bên, nó không phụ thuộc vào số lượng chất lỏng chảy qua.

...

...

...

Lưu tốc dòng chảy (flow rate): Trong thử rò rỉ

1) là tốc độ mà tại đó chất khí đi qua một tiết diện ngang của hệ cho sẵn, được xác định bởi tích của thể tích đi qua trong một đơn vị thời gian và áp suất riêng phần của nó tại vị trí tiết diện ngang;

2) là tích của hiệu áp suất riêng phần của chất khí tại 2 đầu ống dẫn hay tiết diện ngang của một lỗ với độ dẫn của chất khí đối với ống dẫn hoặc lỗ. Biểu thị bằng áp suất - thể tích trên một đơn vị thời gian, như Pa m³/s.

Micromet (micrometre): là đơn vị độ dài bằng một phần triệu của mét (m) - còn gọi là micron.

Micromet thủy ngân (micron of mercury): là một đơn vị đo áp suất, có áp suất bằng áp suất một cột thủy ngân đứng yên có chiều cao 1 μm thủy ngân.

Millimet thủy ngân (milimetre of mercury): là đơn vị đo áp suất ứng với một cột thủy ngân cao 1 mm dưới một gia tốc trọng trường tiêu chuẩn. Đôi khi được gọi là Torr.

Nguồn ion (ion source): (trong thử rò rỉ) là phần của ống detector rò rỉ trong đó chất khí đánh dấu được ion hóa sơ bộ.

Ống hút khí (pump out tubulation): là một ống kéo dài từ một thiết bị đã được rút chân không, dùng hút chất khí. Nó thường làm kín vĩnh viễn sau khi thiết bị đã được rút chân không. Đôi khi gọi là ống xả.

Ống phóng điện phổ kế (spectrometer tube): là phần tử cảm biến của một detector rò rỉ loại khối phổ kế.

...

...

...

Pa (pascal - Pa): là đơn vị đo áp suất dùng trong hệ SI, được định nghĩa là 1 N/m², và 1 Pa gần đúng bằng 1 x 10^-5 atm, hoặc chính xác hơn: 1 Pa = 0,98692 x 10^-5 atm.

Phương pháp thử áp suất thủy lực (hydraulic pressure test): giống phương pháp thử thủy tinh.

Phương pháp thử bằng chân không (vacuum testing):

1) là một phương pháp thử để kiểm tra sự rò rỉ trong đó vật được thử sẽ được hút chân không và khí đánh dấu sẽ tác dụng lên bề mặt ngoài của vật thử;

2)là một quy trình thử rò rỉ trong đó vật kín cần kiểm tra được hút chân không, và chất khí đánh dấu tác động lên mặt ngoài của vật kín, sẽ được phát hiện sau khi đi vào vật kín.

Phương pháp thử bằng tích lũy (accumulation test): là phương pháp thử rò rỉ để phát hiện các rò rỉ rất nhỏ. Trong phương pháp này nếu xảy ra rò rỉ thì theo những khoảng thời gian nhất định, chất khí chứa trong chi tiết thử sẽ được tập hợp vào trong một buồng kín được hút chân không trong đó đặt chi tiết thử. Vào cuối chu kỳ thử, buồng kín này được nối với một detector nhạy với chất khí này.

Phương pháp thử bằng tủ hút (hood test): là phương pháp thử toàn bộ, trong đó một vật được thử chân không được đặt kín trong một tủ hút chứa đầy khí đánh dấu để tất cả các bộ phận của vật thử được một detector rò rỉ nhằm mục đích xác định sự có mặt của vết rò rỉ.

Phương pháp thử dùng áp suất (pressure testing): là một phương pháp thử rò rỉ trong đó vật cần kiểm tra được bơm đầy chất khí hoặc chất lỏng, sau đó đem nén chúng dưới áp suất. Mặt ngoài của vật kiểm tra sẽ được soi xét kỹ để phát hiện các vết rò rỉ.

Phương pháp thử dùng áp suất và chân không (pressure - evacuation test): là một phương pháp thử trong đó một hoặc nhiều dụng cụ được nén dưới áp suất chất khí trong một khoảng thời gian, khi đó dụng cụ này tích lũy một lượng chất khí đủ để nếu trong các thiết bị đó để có vết rò rỉ sẽ được một chỉ thị trên detector rò rỉ nhạy cảm với loại khí này khi các thiết bị được đặt trong một hệ chân không nối với detector rò rỉ.

...

...

...

Phương pháp thử dùng bọt khí (bubble immersion test): là một dạng của phương pháp thử rò rỉ của khí chứa trong các vật kín, trong đó sự rò rỉ được phát hiện nhờ các bọt khí hình thành tại vị trí rò rỉ.

Phương pháp thử độ cách ly (isolation test): (trong thử rò rỉ) là một phương pháp dùng để xác định có hay không sự rò rỉ trong một hệ, hoặc để có được một sự đánh giá về độ lớn của nó, bằng cách quan sát tốc độ tăng của áp suất trong một hệ được rút chân không khi hệ này được cách ly với máy bơm. Cũng có thể xem chữ : tốc độ tăng áp.

Phương pháp thử helium kiểu nổ bom (helium bombing): là phương pháp thử áp suất chân không trong đó helium được dùng như một chất khí thử.

Phương pháp thử nhuộm màu dùng áp suất (pressure dye test):

1) là một dạng của phương pháp thử rò rỉ trong đó chi tiết hoặc các chi tiết được thử sẽ được đổ đầy một chất nhuộm màu dạng lỏng hoặc chất dấu huỳnh quang, sau đó chúng được nén dưới một áp suất nhằm mục đích dẫn các chất lỏng chạy qua các chỗ có khả năng bị rò rỉ, do đó nếu có rò rỉ ta sẽ quan sát thấy nó từ bên ngoài;

2) cũng là một dạng của phương pháp thử rò rỉ trong đó chi tiết hoặc nhiều chi tiết được thử được nhúng trong một chất lỏng đã nhuộm màu, hoặc chất dầu huỳnh quang sau đó chúng được nén dưới áp suất để đưa các chất lỏng vào các chỗ có khả năng rò rỉ, và ta có thể quan sát thấy sự có mặt của vết rò khi loại bỏ các chất lỏng dư.

Phương pháp thử rò rỉ (leak testing): bao gồm các quy trình để dò tìm, định vị trí, đo đạc sự rò rỉ, hoặc kết hợp các điều đó với nhau.

Phương pháp thử thủy tinh (hydrostatic test): (trong thử rò rỉ) là một phương pháp thử áp suất trong đó chi tiết (hoặc vật) được thử sẽ được bơm đầy nước hoặc một chất lỏng nào đó. Nếu cần, sẽ nén chất lỏng đó một áp suất trong thời gian cần thiết và ở bên ngoài chi tiết đó người ta quan sát bằng mắt để tìm vết rò rỉ.

Phổ khối (mass spectrum): một bản ghi chép, đồ thị hoặc một bản (biểu) để biểu thị số ion tương đối có khối lượng khác nhau, khi một vật chất cho trước được xử lý trong một khối phổ kế.

...

...

...

Rò rỉ lỗ hở (aperture leak): là rò rỉ có các đặc trưng hình học mà chiều dài của chỗ rò rỉ nhỏ hơn rất nhiều so với đường kính bé nhất trên quãng đường đó, để sự rò rỉ có thể được coi như là tương đương với một lỗ hở trong một bề dày vô cùng mỏng.

Sự bít kín (occlusion): là sự bẫy một chất khí không hòa tan trong một chất rắn trong quá trình đông đặc.

Sự chảy chuyển tiếp (transition flow): là sự chảy của chất khí trong những điều kiện trung gian giữa sự chảy nhớt theo lớp và sự chảy phân tử.

Sự chảy nhớt (viscous flow): là sự chảy của chất khí qua một ống dẫn dưới những điều kiện như: quãng đường tự do trung bình rất nhỏ so với kích thước nhỏ nhất của tiết diện ngang ống dẫn. Sự chảy này có thể là sự chảy tầng hoặc chảy rối.

Sử chảy poiseuille (poiseuille flow): là trường hợp riêng của chảy nhớt phân lớp qua một ống dài có tiết diện tròn.

Sự che chắn (masking): là sự ngăn một phần của vật thể, nhằm ngăn không cho chất khí đánh dấu di vào các vết rò rỉ tồn tại trong phần bị ngăn đó.

Sự định vị rò rỉ bằng đầu dò đánh dấu (tracer probe leak location): xem thử bằng đầu dò.

Sự hấp thụ (absorption): (trong thử rò rỉ) là sự kết hợp hoặc sự hợp nhất của chất khí vào bên trong một chất rắn (hoặc chất lỏng).

Sự khuyếch tán (diffusion): (trong thử rò rỉ) là một dòng khí đi xuyên qua một chất do chất khí di chuyển qua các mạng tinh thể của nó chứ không phải là lọt qua theo rò rỉ hình học (đường kính phân tử so sánh với kích thước lỗ).

...

...

...

Sự phân ly (cracking): (trong thử rò rỉ) là sự phân tách một chất ra thành 2 thành phần hay nhiều hơn.

Sự rò rỉ ảo (virtual leak):

1) tương tự như sự rò rỉ trong một hệ chân không gây ra bởi sự thoát ra chậm chạp chất khi bị kẹt lại;

2) trong quá trình thử tốc độ tăng, tương tự như sự rò rỉ trong một hệ chân không gây ra bởi một sự thoát ra chậm của chất khí bị hấp thụ hoặc bị bít kín trên bề mặt hoặc trong các bề mặt và các lỗ rỗng của tất cả các vật liệu trong một hệ mà được đưa ra ngoài áp suất khí quyển trước khi hút chân không.

Sự rò rỉ nhớt (viscous leak): là sự rò rỉ của cấu hình sao cho chất khí chảy qua nó, có bản chất "nhớt", nghĩa là sự chảy tuân theo định luật Poiseuille. Lưu tốc chảy tỉ lệ thuận với hiệu bình phương của áp suất 2 đầu và tỉ lệ nghịch với độ nhớt chất khí.

Sự rò rỉ phân tử (molecular leak): là rò rỉ các cấu hình học sao cho dòng khí truyền qua nó tuân theo định luật về dòng phân tử (định luật Knudsen). Dòng tỉ lệ thuận với hiệu áp suất 2 đầu và tỉ lệ nghịch với căn bậc hai của khối lượng phân tử chất khí.

Sự tán xạ (scattering): sự phân tán hoặc khuyếch tán theo các hướng khác nhau do sự tương tác giữa các phân tử hoặc sự va chạm ion, áp dụng cho hiệu ứng của chất khí dư trong ống  của khối phổ kế hoặc một chùm ion đi qua ống.

Sự tiết lưu (throttling): (trong thử rò rỉ) sự làm giảm tốc độ bơm của một hệ bơm bằng cách khóa van một phần hoặc lắp đặt một đoạn ống dẫn có độ dẫn thấp.

Sự trôi (drift): (trong thử rò rỉ) là sự thay đổi tương đối chậm trong tín hiệu ra của phông của detector thử rò rỉ do các thiết bị điện tử hơn là sự thay đổi về mức của các chất khí đánh dấu.

...

...

...

1) (trong thử rò rỉ), với một đầu dò, sự trôi từ một vết rò hoặc 1 vòng đệm thấm được, một khoảng cách nào từ đầu dò nhưng bị phát hiện bởi đầu dò và có thể làm cho người sử dụng (thao tác) có thể nghĩ nhầm rằng vết rò ở vùng gần đầu dò;

2) sự thay đổi dần dần của kim chỉ mét (m) tại đầu ra của detector rò rỉ do sự thay đổi một cách chậm chạp nồng độ helium (có thể do sự rò rỉ hay sự khử khí) trong ống detector. Biểu thị bằng số trị chia trên đơn vị thời gian.

Thiết bị dẫn khí có điều khiển (leak artifact): là một thiết bị dùng để đưa chất khí vào trong một hệ với một tốc độ điều khiển được, thường là 10^-7 mol/s hoặc thấp hơn.

Thiết bị Pirani vi sai (differential Pirani gage): là một loại thiết bị phát hiện sự rò rỉ sử dụng hai ống pirani giống nhau làm các nhánh của một mạch cầu wheatstone.

Thời gian đáp ứng (response time): (đối với dòng chảy) là thời gian cần thiết để detector rò rỉ hoặc một hệ thống kiểm tra rò rỉ tạo ra một tín hiệu tại đầu ra bằng 63% của tín hiệu cực đại được khi chất khí đánh dấu được cấp liên tục vào hệ thống được kiểm tra. Người ta cũng gọi đó là sự đáp ứng.

Thời gian làm sạch (clean - up): (trong thử rò rỉ) là thời gian cần thiết để một hệ thử rò rỉ giảm tín hiệu ra của nó xuống còn 37% của tín hiệu tại lúc chất khí đánh dấu ngừng đi vào hệ. Nó cũng được gọi là thời gian làm sạch.

Thử dùng đầu dò (probe test): là một cách thử rò rỉ trong đó chất khí đánh dấu được dùng như một đầu dò sao cho vị trí điện tích bị bao phủ bởi chất khí đánh dấu này được xác định rõ. Điều này cho phép xác định vị trí các chỗ rò riêng biệt.

Thử rò rỉ động lực (dynamic leak test): là một dạng thử rò rỉ trong đó một số chất khí đánh dấu đi qua lỗ rò rỉ sẽ được liên tục lấy đi để làm tăng độ nhạy.

Tín hiệu phông (background signal): trong thử rò rỉ sự ổn định hay sự thăng giáng của tín hiệu ra từ detector gây nên do chất khí đánh dấu còn sót lại, hay của một chất khác.

...

...

...

Torr (torr): đơn vị đo áp suất bằng 1/760 của 1 atm.

Tốc độ rò rỉ (leakage rate): là lưu tốc của một chất lỏng hoặc một chất khí đi qua một vết rò rỉ tại một nhiệt độ đã cho do có chênh lệch áp suất. Các điều kiện tiêu chuẩn cho chất khí là 25⁰C và 100 kPa. Tốc độ rò rỉ được diễn tả bằng nhiều loại đơn vị khác nhau như Pa m³/s hoặc pascal lít/s (xem bảng 3)

Bảng 3 - Hệ số chuyển đổi cho phương pháp thử rò rỉ

Chuyển đổi từ

Tới

Nhân cột số 1 với hệ số sau

tốc độ rò rỉ

...

...

...

Pa.m³/s

1,01 x 10^-1

micron.lit/s

Pa.m³/s

1,33 x 10^-4

micron.ft³/h

Pa.m³/s

1,05 x 10^-6

pascal.lit/s

...

...

...

100 x 10^-3

STD.cm³/s

Pa.m³/s

1,01 x 10^-1

torr.lit.s

Pa.m³/s

1,33 x 10^-1

Áp suất

...

...

...

khí quyển (std)

Pa

1,01 x 10⁵

bar

Pa

1,00 x 10³

micromet Hg

Pa

1,33 x 10^-1

...

...

...

Pa

1,33 x 10^-1

millimet - Hg

Pa

1,33 x 10^-1

pounds force/m³

Pa

6,89 x 10³

tort

...

...

...

1,33 x 10²

độ nhớt

centipoise

Pa.s

1,00 x 10^-3

poise

Pa.s

...

...

...

thể tích

cm³

m³

1,00 x 10^-6

ft³

m³

2,83 x 10^-2

...

...

...

m³

1,00 x 10^-3

Tốc độ rò rỉ tối thiểu có thể phát hiện được (minimum detectable leakage rate): là đại lượng của tốc độ rò rỉ bé nhất có thể phát hiện một cách chắc chắn nhờ một detector rò rỉ có sẵn trong các điều kiện tồn tại tại thời điểm đo.

Tốc độ rò rỉ trong (In - leakage rate): là tốc độ rò rỉ tổ hợp từ tất cả các rò rỉ hiện có trong một bình rút chân không, đo theo những đơn vị thể tích nhân với áp suất trên đơn vị thời gian.

Tốc độ rò rỉ tiêu chuẩn (standard leakage rate): là lưu tốc dòng không khí dưới các điều kiện sau: áp suất đầu vào 0,1 Mpa ± 5%. Áp suất đầu ra < 1 kPa; nhiệt độ là 25⁰C ± 5⁰, và điểm sương nhỏ hơn -25⁰C.

Tốc độ tăng (rate of rise): (trong thử rò rỉ) sự thay đổi theo thời gian của sự tăng áp suất tại một thời điểm trong một hệ chân không bị cô lập đột ngột khỏi bơm nhờ van khóa. Thể tích và nhiệt độ của hệ thống được giữ không đổi trong một quá trình đo độ tăng.

Van chân không ban đầu (fore - line valve): (trong thử rò rỉ), là van, chân không đặt trên đường chân không ban đầu cho phép cách ly bơm khuyếch tán ra khỏi hệ thống bơm của nó.